Polovodičový priemysel často vidí termín pre cieľové materiály, ktoré možno rozdeliť na plátkové materiály a obalové materiály.Obalové materiály majú relatívne nízke technické bariéry v porovnaní s materiálmi na výrobu plátkov.Výrobný proces doštičiek zahŕňa najmä 7 druhov polovodičových materiálov a chemikálií, vrátane jedného typu materiálu naprašovacích terčov.Aký je teda cieľový materiál?Prečo je cieľový materiál taký dôležitý?Dnes si povieme, aký je cieľový materiál!
Aký je cieľový materiál?
Jednoducho povedané, materiál terča je materiál terča bombardovaný vysokorýchlostnými nabitými časticami.Nahradením rôznych materiálov terčov (ako je hliník, meď, nehrdzavejúca oceľ, titán, niklové terče atď.) možno získať rôzne filmové systémy (ako supertvrdé, opotrebeniu odolné, antikorózne zliatinové filmy atď.).
V súčasnosti možno materiály (čistoty) naprašovacích terčov rozdeliť na:
1) Kovové terče (čistý kovový hliník, titán, meď, tantal atď.)
2) Zliatinové terče (zliatina niklu a chrómu, zliatina niklu a kobaltu atď.)
3) Terče keramických zlúčenín (oxidy, silicidy, karbidy, sulfidy atď.).
Podľa rôznych prepínačov sa dá rozdeliť na: dlhý terč, štvorcový terč a kruhový terč.
Podľa rôznych oblastí použitia sa dá rozdeliť na: terče polovodičových čipov, terče s plochým panelom, terče solárnych článkov, terče na ukladanie informácií, modifikované terče, terče elektronických zariadení a iné terče.
Pri pohľade na to by ste mali pochopiť vysoko čisté naprašovacie terče, ako aj hliník, titán, meď a tantal používaný v kovových terčoch.Pri výrobe polovodičových doštičiek je proces hliníka zvyčajne hlavnou metódou výroby doštičiek 200 mm (8 palcov) a menej a cieľovými materiálmi sú hlavne hliníkové a titánové prvky.Výroba 300 mm (12 palcov) plátkov, väčšinou s použitím pokročilej technológie medeného prepojenia, hlavne s použitím medených a tantalových terčov.
Každý by mal pochopiť, čo je cieľový materiál.Celkovo možno konštatovať, že so zvyšujúcim sa rozsahom aplikácií čipov a rastúcim dopytom na trhu s čipmi určite vzrastie dopyt po štyroch hlavných tenkovrstvových kovových materiáloch v tomto odvetví, konkrétne hliníku, titánu, tantalu a medi.A v súčasnosti neexistuje žiadne iné riešenie, ktoré by mohlo nahradiť tieto štyri tenkovrstvové kovové materiály.
Čas odoslania: júl-06-2023