Magnetrónové naprašovanie je nová fyzikálna metóda nanášania parou, v porovnaní so skoršou metódou nanášania odparovaním sú jej výhody v mnohých aspektoch celkom pozoruhodné.Magnetrónové naprašovanie sa ako vyspelá technológia používa v mnohých oblastiach.
Princíp magnetrónového naprašovania:
Medzi pól rozprašovaného terča (katódu) a anódu sa pridá ortogonálne magnetické pole a elektrické pole a vo vysokovákuovej komore sa naplní požadovaný inertný plyn (zvyčajne plyn Ar).Permanentný magnet vytvára 250-350 gausové magnetické pole na povrchu materiálu terča a ortogonálne elektromagnetické pole sa skladá z elektrického poľa vysokého napätia.Pôsobením elektrického poľa, ionizácia Ar plynu na kladné ióny a elektróny, terč a má určitý podtlak, z terča od pólu účinkom magnetického poľa a pravdepodobnosti ionizácie pracovného plynu sa zvyšuje, tvorí plazmu s vysokou hustotou v blízkosti katóda, Ar ión pod pôsobením Lorentzovej sily, zrýchli, aby letel na cieľový povrch, bombardovanie cieľového povrchu vysokou rýchlosťou, Naprašované atómy na cieľ sa riadia princípom premeny hybnosti a odlietajú od cieľového povrchu s vysokou kinetickou energie na depozičný film substrátu.
Magnetrónové naprašovanie sa vo všeobecnosti delí na dva druhy: DC naprašovanie a RF naprašovanie.Princíp jednosmerného naprašovacieho zariadenia je jednoduchý a rýchlosť pri naprašovaní kovu je rýchla.Využitie RF naprašovania je rozsiahlejšie, okrem naprašovania vodivých materiálov aj naprašovanie nevodivých materiálov, ale aj reaktívna naprašovacia príprava oxidov, nitridov a karbidov a iných zložených materiálov.Ak sa frekvencia RF zvýši, zmení sa na mikrovlnné plazmové rozprašovanie.V súčasnosti sa bežne používa mikrovlnné plazmové naprašovanie typu elektrónovej cyklotrónovej rezonancie (ECR).
Materiál terča magnetrónového naprašovania:
Materiál kovového rozprašovacieho terča, náterový materiál nanášacej zliatiny, keramický naprašovací materiál, materiály boridovej keramickej naprašovacej terče, materiál karbidovej keramickej naprašovacej terče, materiál fluoridovej keramickej naprašovacej terče, materiály nitridovej keramickej naprašovacej terče, oxidová keramická terča, materiál selenidovej keramickej naprašovacej terče, silicidové keramické materiály naprašovacích terčov, sulfidový keramický materiál naprašovacích terčov, teluridový keramický naprašovací terč, iný keramický terč, keramický terč z oxidu kremičitého dopovaný chrómom (CR-SiO), terč z fosfidu india (InP), terč z arzenidu olovnatého (PbAs), arzenid india cieľ (InAs).
Čas odoslania: august-03-2022