Polysilikón je dôležitým materiálom rozprašovacieho terča.Použitie metódy magnetrónového naprašovania na prípravu SiO2 a iných tenkých vrstiev môže spôsobiť, že matricový materiál bude mať lepšiu optickú, dielektrickú a koróznu odolnosť, ktorá sa široko používa v dotykových obrazovkách, optických a iných priemyselných odvetviach.
Proces odlievania dlhých kryštálov spočíva v realizácii smerového tuhnutia tekutého kremíka zdola nahor postupne presnou reguláciou teploty ohrievača v horúcom poli ingotovej pece a odvodu tepla tepelne izolačného materiálu. rýchlosť tuhnutia dlhých kryštálov je 0,8~1,2 cm/h.Súčasne sa v procese smerového tuhnutia môže realizovať segregačný efekt kovových prvkov v kremíkových materiáloch, väčšina kovových prvkov sa môže čistiť a môže sa vytvoriť jednotná štruktúra polykryštalického kremíka.
Odlievaný polysilikón je tiež potrebné vo výrobnom procese zámerne dopovať, aby sa zmenila koncentrácia akceptorových nečistôt v kremíkovej tavenine.Hlavnou prísadou liateho polysilikónu typu p v priemysle je kremíková predzliatina bóru, v ktorej je obsah bóru asi 0,025 %.Množstvo dotácie je určené cieľovým odporom kremíkového plátku.Optimálny odpor je 0,02 ~ 0,05 Ω • cm a zodpovedajúca koncentrácia bóru je približne 2 × 1014 cm-3. Segregačný koeficient bóru v kremíku je však 0,8, čo bude vykazovať určitý segregačný efekt v procese smerového tuhnutia, tj. to znamená, že prvok bóru je distribuovaný v gradiente vo vertikálnom smere ingotu a odpor postupne klesá od spodnej časti ingotu k hornej časti ingotu.
Čas odoslania: 26. júla 2022