Vákuové pokovovanie pri výbere materiálov naprašovacích terčov je v súčasnosti problémom pre ľudí, pretože o naprašovaní, najmä o rozvoji schopností magnetrónového naprašovania, možno povedať, že akékoľvek informácie môžu byť zamerané na prípravu materiálov tenkých vrstiev. bombardovaním iónmi, pretože naprašovanie materiálu terče v procese nanášania povlaku na druh substrátu má dôležitý vplyv na kvalitu filmu naprašovania, a preto sú požiadavky na materiál terča prísnejšie.Tu sa spolu s redaktorom Beijing Relaxation dozvieme o úlohe naprašovacieho terča vo vákuovom poťahovaní
一、Princíp výberu a klasifikácia cieľového materiálu
Pri výbere cieľového materiálu by sa okrem použitia samotného filmu mali zvážiť aj tieto problémy:
Problém 1. Podľa použitia a výkonnostných požiadaviek membrány je potrebné, aby cieľový materiál spĺňal technické požiadavky na čistotu, obsah zásobníka, jednotnosť komponentov, presnosť obrábania a pod.
Problém 2. Cieľový materiál by mal mať po vytvorení filmu dobrú mechanickú pevnosť a chemickú stabilitu;
Problém 3. Je nevyhnutné, aby filmový materiál ľahko generoval zložený film s reakčným plynom ako reaktívnym rozprašovacím filmom;
Problém 4. Je potrebné nastaviť terč a matricu tak, aby boli pevné, inak by sa mal použiť filmový materiál s dobrou priľnavosťou k matrici, najskôr nastriekať vrstvu spodnej fólie a potom pripraviť požadovanú vrstvu fólie;
Otázka 5. Za predpokladu splnenia výkonnostných požiadaviek fólie, čím menší je rozdiel medzi koeficientom tepelnej rozťažnosti terča a matrice, tým lepšie, aby sa znížil vplyv tepelného namáhania fólie naprašovaním;
Príprava niekoľkých bežne používaných cieľov
(1) cr cieľ
Chróm ako naprašovací filmový materiál je nielen ľahko kombinovateľný so základným materiálom, má vysokú priľnavosť a chrómový a oxidový CrQ3 film, jeho mechanické vlastnosti, odolnosť voči kyselinám a tepelná stabilita sú lepšie.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. sa zaoberá hlavne: titánovým terčom zirkónový terč, hliníkový terč, niklový terč, chrómový terč, volfrámový terč, molybdénový terč, medený terč, kremíkový terč, nióbový terč, tantalový terč, zliatina titánu a kremíka terč, terč zo zliatiny titánu a nióbu, terč zo zliatiny titánu a volfrámu, terč zo zliatiny titánu a zirkónu, terč zo zliatiny niklu a chrómu, terč zo zliatiny kremíka a hliníka, terč zo zliatiny niklu a vanádu, terč z ternárnych zliatin chrómu, hliníka a kremíka，Ti al si terčový materiál z ternárnych zliatin, široko používaný v dekorácii / tvrdom povrchu a funkčnom povlaku, architektonickom skle, plochých displejoch / optických fotoelektrických, optických úložiskách, elektronike, tlači a iných profesiách.
Čas odoslania: jún-02-2022