Cieľ má široký trh, oblasť použitia a veľký rozvoj v budúcnosti.Aby sme vám pomohli lepšie porozumieť cieľovým funkciám, nižšie inžinier RSM stručne predstaví hlavné funkčné požiadavky cieľa.
Čistota: čistota je jedným z hlavných funkčných ukazovateľov terča, pretože čistota terča má veľký vplyv na funkciu fólie.Pri praktickej aplikácii sú však požiadavky na čistotu terča tiež odlišné.Napríklad s rýchlym rozvojom mikroelektronického priemyslu sa veľkosť kremíkového plátku zväčší zo 6 "na 8" na 12 "a šírka vodičov sa zníži z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um alebo dokonca 0,13 um.Predtým mohlo 99,995 % cieľovej čistoty spĺňať požiadavky procesu 0,35 um, zatiaľ čo príprava línií 0,18 um si vyžaduje 99,999 % alebo dokonca 99,9999 % cieľovej čistoty.
Obsah nečistôt: nečistoty v cieľových tuhých látkach a kyslík a vodná para v póroch sú hlavnými zdrojmi znečistenia uložených filmov.Terče na rôzne účely majú rôzne požiadavky na rôzne obsahy nečistôt.Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a obsah rádioaktívnych prvkov.
Hustota: na zmenšenie pórov v pevnej látke terča a zlepšenie funkcie naprašovacieho filmu sa zvyčajne vyžaduje, aby terč mal vysokú hustotu.Hustota terča ovplyvňuje nielen rýchlosť rozprašovania, ale ovplyvňuje aj elektrické a optické funkcie filmu.Čím vyššia je cieľová hustota, tým lepšia je funkcia fólie.Okrem toho sa zlepší hustota a pevnosť terča, takže terč môže lepšie akceptovať tepelné namáhanie v procese naprašovania.Hustota je tiež jedným z kľúčových funkčných ukazovateľov cieľa.
Čas odoslania: 20. mája 2022