Naprašovací terč z titánovej zliatiny a titánový kov sú zložené z titánu, takže informácie sú približne rovnaké, ale rozdiel medzi nimi spočíva hlavne v tom, že terč z titánovej zliatiny naprašovaním je vyrobený z titánového kovu niekoľkými spôsobmi a titán sa v prírode vyskytuje ako titánová ruda. Ciele zo zliatiny titánu môžu byť široko používané v mnohých profesijných kategóriách, autor teraz v Pekingu Richmat zhrnul niekoľko bežných cieľov z titánovej zliatiny z hľadiska použitia situácie, aby nám poskytol podrobný úvod.
一、Ti terčíky pre integrované obvody
Požiadavky na naprašovacie terče zo zliatiny titánu sa medzi neintegrovanými obvodmi a integrovanými obvodmi líšia.Vo všeobecnosti majú integrované obvody vyššie požiadavky na údaje o povlaku, ako je vyššia čistota, menšia veľkosť zrna a presnejšia presnosť mierky. Čistota titánových terčíkov v integrovaných obvodoch je vyššia ako 99,995 %, čo je vyššia hodnota ako v neintegrovaných obvody, čo naznačuje, že rôzne použitia cieľových požiadaviek na titán sú veľmi odlišné.
二、Cieľ Ti pre plochý displej
Terče z titánovej zliatiny používané v plochých panelových displejoch zahŕňajú displej z tekutých kryštálov, plazmový displej, elektroluminiscenčný displej a displej s emisiou poľa. Tenký film plochého displeja je metódou formovania naprašovaním, Al, Cu, Ti a Mo sú primárne kovové rozprašovacie terče pre ploché panely. displejov. Čistota terčov z titánovej zliatiny pre ploché displeje je zvyčajne väčšia ako 99,9 %.
三、Ti terčíky pre dekoratívne materiály
Cieľový materiál z titánovej zliatiny vysokej čistoty má vynikajúcu odolnosť proti korózii vo vzduchu, dlhodobé používanie na vzduchu nemení farbu, aby sa zabezpečilo, že pôvodná farba titánu a ľudský kontakt nie je alergický a ďalšie vynikajúce vlastnosti.Preto môže byť titán vysokej čistoty použitý aj ako dekoratívny materiál, v posledných rokoch ako náramky, hodinky a okuliare a iné ozdoby s titánom čistota dosiahla úroveň 5N.
四、Ti ciele pre systémy ultravysokého vákua
Ako chemicky aktívny kov môže titán reagovať s mnohými prvkami a zlúčeninami pri vysokej teplote.Cieľ z titánovej zliatiny s vysokou čistotou má silnú adsorpčnú kapacitu pre aktívne plyny (ako je O2, N2, CO, CO2, vodná para nad 650 °C) a film Ti, ktorý sa odparuje na stene čerpadla, môže vytvoriť povrch s vysokým adsorpčným výkonom. .Vďaka tejto vlastnosti je Ti široko používaný ako getr v systéme extrakcie plynu s ultravysokým vákuom. Ak sa použije na zlepšenie pumpy, rozprašovacej iónovej pumpy atď., môže dosiahnuť maximálny prevádzkový tlak rozprašovacej iónovej pumpy až 10-9PA.
Čas odoslania: 25. apríla 2022