S rastúcim dopytom na trhu sa neustále aktualizuje čoraz viac typov naprašovacích terčov.Niektoré sú zákazníkom známe a niektoré nepoznajú.Teraz by sme sa s vami radi podelili o typy magnetrónových naprašovacích terčov.
Naprašovacie terče majú tieto typy: kovový naprašovací terč, zliatinový naprašovací terč, keramický naprašovací terč, boridový keramický naprašovací terč, karbidový keramický naprašovací terč, fluoridový keramický naprašovací terč, nitridový keramický naprašovací terč, oxidový keramický terč, selenidový keramický naprašovací terč , silicidový keramický naprašovací terč, sulfidový keramický naprašovací terč, teluridový keramický naprašovací terč, iné keramické terče, keramický terč z oxidu kremičitého dopovaný chrómom (CR SiO), terč z fosfidu india (INP), terč z arzenidu olovnatého (pbas), terč z arzenidu india (InAs ).
Magnetrónové naprašovanie sa vo všeobecnosti delí na dva typy: DC naprašovanie a RF naprašovanie.Princíp jednosmerného naprašovacieho zariadenia je jednoduchý a jeho rýchlosť je rýchla aj pri naprašovaní kovu.RF naprašovanie je široko používané.Okrem rozprašovania vodivých dát dokáže rozprašovať aj nevodivé dáta.V rovnakom čase terč na naprašovanie tiež vykonáva reaktívne naprašovanie na prípravu údajov o zlúčeninách, ako sú oxidy, nitridy a karbidy.Ak sa frekvencia RF zvýši, zmení sa na mikrovlnné plazmové rozprašovanie.V súčasnosti sa bežne používa mikrovlnné plazmové naprašovanie s elektrónovou cyklotrónovou rezonanciou (ECR).
Čas odoslania: 18. máj 2022