Mnoho používateľov už určite počulo o produkte naprašovacieho terča, ale princíp naprašovacieho terča by mal byť relatívne neznámy.Teraz, redaktorBohatý špeciálny materiál (RSM) zdieľa princípy magnetrónového naprašovania ako naprašovacieho terča.
Medzi naprašovanú cieľovú elektródu (katódu) a anódu sa pridá ortogonálne magnetické pole a elektrické pole, do vysokovákuovej komory sa naplní požadovaný inertný plyn (všeobecne plyn Ar), permanentný magnet vytvorí magnetické pole 250 ~ 350 Gaussov na povrch cieľových údajov a ortogonálne elektromagnetické pole sa vytvára s vysokonapäťovým elektrickým poľom.
Pôsobením elektrického poľa sa plyn Ar ionizuje na kladné ióny a elektróny.K cieľu sa pridá určité negatívne vysoké napätie.Vplyv magnetického poľa na elektróny emitované z cieľového pólu a pravdepodobnosť ionizácie pracovného plynu sa zvyšujú, čím sa v blízkosti katódy vytvorí plazma s vysokou hustotou.Vplyvom Lorentzovej sily sa ióny Ar zrýchľujú na cieľový povrch a bombardujú cieľový povrch veľmi vysokou rýchlosťou. Rozprašované atómy na cieli sa riadia princípom premeny hybnosti a odlietajú z cieľového povrchu na substrát s vysokou kinetickou energiou. ukladať filmy.
Magnetrónové naprašovanie sa vo všeobecnosti delí na dva typy: Prídavné naprašovanie a RF naprašovanie.Princíp pomocného naprašovacieho zariadenia je jednoduchý a jeho rýchlosť je rýchla aj pri naprašovaní kovu.RF naprašovanie je široko používané.Okrem naprašovania vodivých materiálov dokáže naprašovať aj nevodivé materiály.Súčasne vykonáva aj reaktívne naprašovanie na prípravu materiálov oxidov, nitridov, karbidov a iných zlúčenín.Ak sa RF frekvencia zvýši, stane sa z nej mikrovlnné plazmové rozprašovanie.Teraz sa bežne používa mikrovlnné plazmové naprašovanie s elektrónovou cyklotrónovou rezonanciou (ECR).
Čas odoslania: 31. mája 2022