Široké využitie terčového materiálu v rôznych profesiách zvyšuje dopyt po terčovom materiáli.Nasledujúci Budeme stručne predstaviť vy aké sú primárne funkčné požiadavky cieľa, hoping pomôcť ti.
Čistota: Čistota je jedným z primárnych funkčných ukazovateľov terča, pretože čistota terča má veľký vplyv na funkciu fólie.Ale v praxi nie je čistota cieľového materiálu rovnaká.Napríklad s rýchlym rastom profesie mikroelektroniky sa veľkosť kremíkového plátku vyvinula z 6 ", 8 "na 12" a šírka vodičov sa znížila z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um a dokonca 0,13 um.Raz môže 99,995 % cieľovej čistoty spĺňať technologické požiadavky 0,35 UMIC.Príprava 0,18um línie vyžaduje 99,999% alebo dokonca 99,9999% čistotu cieľového materiálu.
Hustota: Aby sa znížila pórovitosť v pevnej látke terča a zlepšila sa funkcia filmu na naprašovanie, zvyčajne sa vyžaduje, aby terč mal vysokú hustotu.Cieľová hustota ovplyvňuje nielen rýchlosť naprašovania, ale aj elektrické a optické vlastnosti filmov.Čím vyššia je hustota terča, tým lepšia je funkcia filmu. Okrem toho sa zvýšila hustota a pevnosť materiálu terča, aby lepšie odolával tepelnému namáhaniu počas naprašovania.Hustota je tiež jedným z dôležitých funkčných ukazovateľov cieľových látok.
Obsah nečistôt: nečistoty v pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch sú primárnymi zdrojmi znečistenia nahromadených filmov. Rôzne cieľové materiály na rôzne účely majú rôzne požiadavky na rôzny obsah nečistôt.Napríklad terče z čistého hliníka a zliatin hliníka používané v polovodičovom priemysle majú špeciálne požiadavky na obsah alkalických kovov a obsah rádioaktívnych prvkov.
Čas odoslania: jún-06-2022