Materiály naprašovaných terčov majú pri používaní vysoké požiadavky nielen na čistotu a veľkosť častíc, ale aj na jednotnú veľkosť častíc.Tieto vysoké požiadavky nás nútia venovať zvýšenú pozornosť pri používaní materiálov na naprašovacie terče.
1. Príprava naprašovaním
Je veľmi dôležité udržiavať čistotu vákuovej komory, najmä rozprašovacieho systému.Mazivá, prach a akékoľvek zvyšky z predchádzajúcich náterov môžu hromadiť znečisťujúce látky, ako je voda, čo priamo ovplyvňuje vákuum a zvyšuje pravdepodobnosť zlyhania tvorby filmu.Skraty, iskrenie terča, drsné povrchy tvoriace film a nadmerné chemické nečistoty sú zvyčajne spôsobené nečistými rozprašovacími komorami, pištoľami a terčmi.
Aby sa zachovali kompozičné charakteristiky povlaku, rozprašovací plyn (argón alebo kyslík) musí byť čistý a suchý.Po inštalácii substrátu do naprašovacej komory je potrebné odsať vzduch, aby sa dosiahla požadovaná úroveň vákua pre proces.
2. Cieľové čistenie
Účelom čistenia terča je odstrániť akýkoľvek prach alebo nečistoty, ktoré sa môžu nachádzať na povrchu terča.
3. Cieľová inštalácia
Najdôležitejšou vecou, na ktorú treba dbať počas procesu inštalácie materiálu terča, je zabezpečiť dobré tepelné spojenie medzi materiálom terča a chladiacou stenou naprašovacej pištole.Ak je chladiaca stena alebo zadná doska silne zdeformovaná, môže to spôsobiť prasknutie alebo ohnutie počas inštalácie cieľového materiálu.Prenos tepla zo zadného terča do materiálu terča bude značne ovplyvnený, čo má za následok neschopnosť odvádzať teplo počas naprašovania, čo v konečnom dôsledku vedie k praskaniu alebo odchýlke materiálu terča.
4. Kontrola skratu a tesnenia
Po inštalácii terčového materiálu je potrebné skontrolovať skrat a utesnenie celej katódy.Na zistenie, či je katóda skratovaná, sa odporúča použiť ohmmeter a megaohmmeter.Po potvrdení, že katóda nie je skratovaná, je možné vykonať detekciu netesnosti vstreknutím vody do katódy, aby sa zistilo, či došlo k nejakému úniku.
5. Materiál terča pred naprašovaním
Na predbežné naprašovanie materiálu terče sa odporúča použiť čistý argónový plyn, ktorý dokáže vyčistiť povrch materiálu terče.Odporúča sa pomaly zvyšovať výkon naprašovania počas procesu predbežného naprašovania materiálu terče.Sila materiálu keramického terča
Čas odoslania: 19. októbra 2023