Vďaka vysokej teplotnej stabilite, vysokej odolnosti voči migrácii elektrónov a vysokému koeficientu elektrónovej emisie žiaruvzdorných volfrámových a volfrámových zliatin sa vysokočisté terče volfrámu a volfrámových zliatin používajú hlavne na výrobu hradlových elektród, spojovacieho vedenia, vrstiev difúznej bariéry atď. integrované obvody a majú vysoké požiadavky na čistotu, obsah prímesových prvkov, hustotu, zrnitosť a jednotnosť zrnitosti materiálov.Teraz sa pozrime na faktory, ktoré ovplyvňujú prípravu vysoko čistého volfrámového terča.
1、 Vplyv teploty spekania
Proces formovania volfrámového cieľového embrya sa vo všeobecnosti vyrába izostatickým lisovaním za studena.Volfrámové zrno bude rásť počas procesu spekania.Rast volfrámového zrna vyplní medzeru medzi hranicami zŕn, čím sa zlepší hustota volfrámového terča.S predlžovaním časov spekania sa zvyšovanie hustoty volfrámového terča postupne spomaľuje.Hlavným dôvodom je, že po viacnásobnom spekaní sa kvalita volfrámového terča príliš nezmenila.Pretože väčšina dutín na hranici zŕn je vyplnená kryštálmi volfrámu, po každom spekaní bola celková rýchlosť zmeny veľkosti volfrámového terča veľmi malá, čo viedlo k obmedzenému priestoru na zvýšenie hustoty volfrámového terča.Procesom spekania sa vyrastené zrná volfrámu vyplnia do dutín, čo vedie k vyššej hustote terča s menšou veľkosťou častíc.
2、 Vplyv doby držania
Pri rovnakej teplote spekania sa zlepší kompaktnosť volfrámového terča s predĺžením doby zdržania spekania.S predlžovaním doby zdržania sa zväčšuje veľkosť zrna volfrámu a s predlžovaním doby zdržania sa postupne spomaľujú doby rastu veľkosti zrna, čo znamená, že zvýšenie doby zdržania môže tiež zlepšiť výkon volfrámový cieľ.
3、 Vplyv valcovania na vlastnosti cieľa
Aby sa zlepšila hustota materiálu volfrámového terča a získala sa štruktúra spracovania materiálu volfrámového terča, valcovanie materiálu volfrámového terča pri strednej teplote sa musí vykonávať pod teplotou rekryštalizácie.Ak je teplota valcovania cieľového predvalku vysoká, vláknitá štruktúra cieľového predvalku bude hrubá a naopak.Keď rýchlosť valcovania za tepla dosiahne viac ako 95 %.Aj keď sa odstráni rozdiel v štruktúre vlákna spôsobený rôznymi pôvodnými zrnami alebo rôznymi teplotami valcovania, vnútorná štruktúra terča vytvorí relatívne rovnomernú štruktúru vlákien, takže čím vyššia je rýchlosť spracovania valcovania za tepla, tým lepší je výkon terča.
Čas odoslania: 15. február 2023