Cieľový materiál používaný v priemysle ukladania údajov vyžaduje vysokú čistotu a nečistoty a póry musia byť minimalizované, aby sa zabránilo tvorbe častíc nečistôt počas naprašovania.Cieľový materiál používaný pre vysokokvalitné produkty vyžaduje, aby jeho veľkosť kryštálových častíc bola malá a rovnomerná a nemala žiadnu kryštálovú orientáciu.Nižšie sa pozrime na požiadavky priemyslu optických úložísk na cieľový materiál?
1. Čistota
V praktických aplikáciách sa čistota cieľových materiálov líši podľa rôznych priemyselných odvetví a požiadaviek.Celkovo však platí, že čím vyššia je čistota materiálu terča, tým lepší je výkon naprašovaného filmu.Napríklad v odvetví optického ukladania sa vyžaduje, aby čistota cieľového materiálu bola vyššia ako 3N5 alebo 4N
2. Obsah nečistôt
Terčový materiál slúži ako zdroj katódy pri naprašovaní a nečistoty v pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch sú hlavnými zdrojmi znečistenia pre ukladanie tenkých vrstiev.Okrem toho existujú špeciálne požiadavky na ciele rôzneho použitia.Ak vezmeme ako príklad odvetvie optického ukladania, obsah nečistôt v naprašovacích terčoch musí byť veľmi nízky, aby sa zabezpečila kvalita povlaku.
3. Veľkosť zrna a rozdelenie veľkosti
Obvykle má cieľový materiál polykryštalickú štruktúru s veľkosťou zŕn v rozmedzí od mikrometrov po milimetre.Pre terče s rovnakým zložením je rýchlosť rozprašovania jemnozrnných terčov rýchlejšia ako u hrubozrnných terčov.Pri terčoch s menšími rozdielmi vo veľkosti zrna bude aj hrúbka naneseného filmu rovnomernejšia.
4. Kompaktnosť
Aby sa znížila pórovitosť materiálu pevnej elektródy a zlepšila sa výkonnosť filmu, všeobecne sa vyžaduje, aby materiál rozprašovacej elektródy mal vysokú hustotu.Hustota cieľového materiálu závisí hlavne od procesu prípravy.Materiál terča vyrobený metódou tavenia a odlievania môže zabezpečiť, že vo vnútri materiálu terča nie sú žiadne póry a že hustota je veľmi vysoká.
Čas odoslania: 18. júla 2023