Naprašované molybdénové terče boli široko používané v elektronickom priemysle, solárnych článkoch, sklenených povlakoch a iných oblastiach kvôli ich prirodzeným výhodám.S rýchlym rozvojom moderných technológií v oblasti miniaturizácie, integrácie, digitalizácie a inteligencie sa bude používanie molybdénových terčov naďalej zvyšovať a požiadavky na ich kvalitu budú tiež čoraz vyššie.Musíme teda nájsť spôsoby, ako zlepšiť mieru využitia molybdénových cieľov.Teraz editor RSM predstaví niekoľko metód na zlepšenie miery využitia molybdénových terčov naprašovaním pre každého
1. Pridajte elektromagnetickú cievku na opačnú stranu
Aby sa zlepšila miera využitia naprašovaného molybdénového terča, môže sa pridať elektromagnetická cievka na zadnú stranu planárneho magnetrónového naprašovacieho molybdénového terča a magnetické pole na povrchu molybdénového terča sa môže zvýšiť zvýšením prúdu elektromagnetickej cievky, aby sa zlepšila miera využitia molybdénového terča.
2. Vyberte materiál rúrkového rotujúceho terča
V porovnaní s plochými terčmi výber tubulárnej rotačnej terčovej konštrukcie zvýrazňuje jej podstatné výhody.Vo všeobecnosti je miera využitia plochých terčov len 30 % až 50 %, zatiaľ čo miera využitia rúrkových rotačných terčov môže dosiahnuť viac ako 80 %.Navyše, pri použití rotujúceho dutého tubusového magnetrónového naprašovacieho terča, keďže sa terč môže neustále otáčať okolo zostavy pevného tyčového magnetu, nedôjde k opätovnému ukladaniu na jeho povrchu, takže životnosť otočného terča je vo všeobecnosti viac ako 5-krát dlhšia. než cieľ lietadla.
3. Vymeňte za nové naprašovacie zariadenie
Kľúčom k zlepšeniu miery využitia cieľových materiálov je dokončenie výmeny naprašovacieho zariadenia.Počas procesu naprašovania materiálu molybdénovej rozprašovacej terče sa asi jedna šestina rozprašovacích atómov po zasiahnutí vodíkovými iónmi usadí na stene vákuovej komory alebo konzole, čím sa zvýšia náklady na čistenie vákuového zariadenia a prestoje.Takže výmena nového naprašovacieho zariadenia môže tiež pomôcť zlepšiť mieru využitia molybdénových terčov naprašovaním.
Čas odoslania: 24. mája 2023