Všetci vieme, že naprašovanie je jednou z hlavných technológií prípravy filmových materiálov.Využíva ióny produkované zdrojom iónov na urýchlenie agregácie vo vákuu na vytvorenie vysokorýchlostného iónového lúča, ktorý bombarduje pevný povrch a ióny si vymieňajú kinetickú energiu s atómami na pevnom povrchu, takže atómy na pevnej látke povrch opustí pevnú látku a usadí sa na povrchu substrátu.Bombardovaná tuhá látka je surovinou na nanášanie filmu naprašovaním, ktoré sa nazýva naprašovací terč.
Rôzne typy naprašovaných filmových materiálov sa široko používajú v polovodičových integrovaných obvodoch, záznamových médiách, planárnom displeji, povrchovom nátere nástrojov a matrice atď.
Naprašovacie terče sa používajú hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako sú integrované obvody, ukladanie informácií, displeje z tekutých kryštálov, laserové pamäte, elektronické riadiace zariadenia atď.;Môže byť tiež použitý v oblasti poťahovania skla;Môže byť tiež použitý v materiáloch odolných voči opotrebeniu, vysokej odolnosti voči korózii, špičkových dekoratívnych výrobkoch a iných priemyselných odvetviach.
Existuje mnoho druhov naprašovacích terčov a existujú rôzne metódy klasifikácie terčov:
Podľa zloženia sa dá rozdeliť na kovový terč, terč zo zliatiny a terč z keramickej zlúčeniny.
Podľa tvaru sa dá rozdeliť na dlhý terč, štvorcový terč a okrúhly terč.
Možno ho rozdeliť na mikroelektronický terč, magnetický záznamový terč, optický diskový terč, ušľachtilý kov, terč s filmovým odporom, vodivý filmový terč, terč na úpravu povrchu, maskový terč, terč dekoratívnej vrstvy, elektródový terč a iné terče podľa aplikačného poľa.
Podľa rôznych aplikácií sa dá rozdeliť na keramické terče súvisiace s polovodičmi, keramické terče so záznamovým médiom, zobrazovacie keramické terče, supravodivé keramické terče a obrovské magnetorezistentné keramické terče.
Čas odoslania: 29. júla 2022