1. Metóda magnetrónového naprašovania:
Magnetrónové naprašovanie možno rozdeliť na jednosmerné naprašovanie, strednofrekvenčné naprašovanie a RF naprašovanie
A. Napájanie jednosmerným naprašovaním je lacné a hustota naneseného filmu je nízka.Vo všeobecnosti sa domáce fototermické a tenkovrstvové batérie používajú s nízkou energiou a rozprašovacím terčom je vodivý kovový terč.
B. Energia vysokofrekvenčného naprašovania je vysoká a terčom naprašovania môže byť nevodivý terč alebo vodivý terč.
C. Strednofrekvenčný naprašovací terč môže byť keramický terč alebo kovový terč.
2. Klasifikácia a použitie naprašovacích terčov
Existuje mnoho druhov naprašovacích terčov a metódy klasifikácie terčov sú tiež odlišné.Podľa tvaru sa delia na dlhý terč, štvorcový terč a okrúhly terč;Podľa zloženia sa dá rozdeliť na kovový terč, terč zo zliatiny a terč z keramickej zlúčeniny;Podľa rôznych aplikačných oblastí sa dajú rozdeliť na keramické terče súvisiace s polovodičmi, keramické terče so záznamovým médiom, zobrazovacie keramické terče atď. Naprašovacie terče sa používajú hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako je priemysel na ukladanie informácií.V tomto odvetví sa naprašovacie terče používajú na prípravu príslušných tenkovrstvových produktov (pevný disk, magnetická hlava, optický disk atď.).V súčasnosti.S neustálym rozvojom informačného priemyslu sa dopyt po keramických terčoch na záznamové médium na trhu zvyšuje.Výskum a výroba terčov záznamových médií sa stali stredobodom rozsiahlej pozornosti.
Čas odoslania: 11. máj 2022