V posledných rokoch sa s pokrokom technológie integrovaných obvodov (IC) rýchlo rozvíjali súvisiace aplikácie integrovaných obvodov.Naprašovací terč z hliníkovej zliatiny s ultra vysokou čistotou, ako podporný materiál pri výrobe kovových prepojení integrovaných obvodov, sa stal horúcou témou v poslednom domácom výskume.redaktor RSM nám ukáže vlastnosti vysoko čistého naprašovacieho terča z hliníkovej zliatiny.
Aby sa ďalej zlepšila účinnosť naprašovania magnetrónového naprašovacieho terča a zabezpečila sa kvalita nanesených filmov, veľké množstvo experimentov ukazuje, že existujú určité požiadavky na zloženie, mikroštruktúru a orientáciu zŕn naprašovacieho terča z hliníkovej zliatiny s ultra vysokou čistotou.
Veľkosť zrna a orientácia zrna terča majú veľký vplyv na prípravu a vlastnosti IC filmov.Výsledky ukazujú, že rýchlosť vylučovania klesá so zvyšujúcou sa veľkosťou zrna;V prípade rozprašovacej elektrody s rovnakým zložením je rýchlosť rozprašovania elektrody s malou veľkosťou zrna vyššia ako rýchlosť rozprašovacej elektrody s veľkou veľkosťou zrna;Čím rovnomernejšia je veľkosť zrna terča, tým rovnomernejšie je rozloženie hrúbky nanesených filmov.
Pri rovnakom prístroji na naprašovanie a pri rovnakých parametroch procesu sa rýchlosť rozprašovania terča zo zliatiny Al Cu zvyšuje so zvyšujúcou sa atómovou hustotou, ale vo všeobecnosti je v určitom rozsahu stabilná.Vplyv veľkosti zrna na rýchlosť naprašovania je spôsobený zmenou atómovej hustoty so zmenou veľkosti zrna;Rýchlosť vylučovania je ovplyvnená hlavne orientáciou zŕn terča zo zliatiny Al Cu.Na základe zabezpečenia podielu (200) kryštálových rovín, zvýšenie podielu (111), (220) a (311) kryštálových rovín zvýši rýchlosť vylučovania.
Veľkosť zŕn a orientácia zŕn terčov z hliníkovej zliatiny s ultra vysokou čistotou sa upravuje a riadi hlavne homogenizáciou ingotov, spracovaním za tepla a rekryštalizačným žíhaním.S vývojom veľkosti plátku na 20,32 cm (8 palcov) a 30,48 cm (12 palcov) sa zväčšuje aj veľkosť terča, čo kladie vyššie požiadavky na terče na naprašovanie z hliníkovej zliatiny s ultra vysokou čistotou.Aby sa zabezpečila kvalita filmu a výťažok, cieľové parametre spracovania musia byť prísne kontrolované, aby bola cieľová mikroštruktúra jednotná a orientácia zŕn musí mať silné (200) a (220) rovinné textúry.
Čas odoslania: 30. júna 2022