Nedávno sa mnohí priatelia pýtali na vlastnosti molybdénových rozprašovacích terčov.Aké sú požiadavky na vlastnosti molybdénových naprašovacích terčov v elektronickom priemysle, aby sa zlepšila účinnosť naprašovania a zabezpečila sa kvalita nanášaných filmov?Teraz nám to vysvetlia technickí experti z RSM.
1. Čistota
Vysoká čistota je základnou charakteristickou požiadavkou molybdénového naprašovacieho terča.Čím vyššia je čistota molybdénového terča, tým lepší je výkon naprašovaného filmu.Vo všeobecnosti by čistota molybdénového naprašovacieho terča mala byť aspoň 99,95 % (hmotnostný zlomok, rovnaký nižšie).Avšak s neustálym zlepšovaním veľkosti skleneného substrátu v priemysle LCD sa vyžaduje predĺženie dĺžky vedenia a tenšia šírka linky.Aby sa zabezpečila rovnomernosť filmu a kvalita zapojenia, je potrebné zodpovedajúcim spôsobom zvýšiť aj čistotu molybdénového naprašovacieho terča.Preto sa v závislosti od veľkosti naprašovaného skleneného substrátu a prostredia použitia vyžaduje, aby čistota molybdénového naprašovacieho terča bola 99,99 % – 99,999 % alebo dokonca vyššia.
Molybdénový naprašovací terč sa používa ako katódový zdroj pri naprašovaní.Nečistoty v pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch sú hlavnými zdrojmi znečistenia deponovaných filmov.Okrem toho v elektronickom priemysle, pretože ióny alkalických kovov (Na, K) sa ľahko stanú mobilnými iónmi v izolačnej vrstve, sa zníži výkon pôvodného zariadenia;Prvky ako urán (U) a titán (TI) sa uvoľnia α röntgenovým žiarením, čo bude mať za následok jemné zlyhanie zariadení;Ióny železa a niklu spôsobia presakovanie rozhrania a zvýšenie obsahu kyslíkových prvkov.Preto v procese prípravy molybdénového naprašovacieho terča musia byť tieto nečistoty prísne kontrolované, aby sa minimalizoval ich obsah v terči.
2. Veľkosť zrna a rozdelenie veľkosti
Vo všeobecnosti má molybdénový rozprašovací terč polykryštalickú štruktúru a veľkosť zrna sa môže pohybovať od mikrónov po milimeter.Experimentálne výsledky ukazujú, že rýchlosť rozprašovania jemnozrnného terča je rýchlejšia ako u hrubozrnného terča;Pre cieľ s malým rozdielom veľkosti zrna je distribúcia hrúbky naneseného filmu tiež rovnomernejšia.
3. Orientácia kryštálov
Pretože atómy terča sa dajú ľahko prednostne rozprašovať v smere najbližšieho usporiadania atómov v hexagonálnom smere počas naprašovania, aby sa dosiahla najvyššia rýchlosť naprašovania, rýchlosť naprašovania sa často zvyšuje zmenou kryštálovej štruktúry terča.Smer kryštálov terča má tiež veľký vplyv na rovnomernosť hrúbky naprašovaného filmu.Preto je veľmi dôležité získať určitú kryštálovo orientovanú cieľovú štruktúru pre proces naprašovania filmu.
4. Zahusťovanie
V procese naprašovania, keď je terč s nízkou hustotou bombardovaný, sa plyn nachádzajúci sa vo vnútorných póroch terča náhle uvoľní, čo vedie k rozstreku veľkých častíc alebo častíc terča alebo k bombardovaniu materiálu filmu. sekundárnymi elektrónmi po vytvorení filmu, čo vedie k rozstreku častíc.Vzhľad týchto častíc zníži kvalitu filmu.Aby sa zmenšili póry v pevnej látke terča a zlepšil sa výkon filmu, vo všeobecnosti sa vyžaduje, aby terč na naprašovanie mal vysokú hustotu.V prípade molybdénového naprašovacieho terča by jeho relatívna hustota mala byť vyššia ako 98 %.
5. Viazanie terča a podvozku
Vo všeobecnosti musí byť molybdénový naprašovací terč spojený s bezkyslíkatým medeným (alebo hliníkovým a inými materiálmi) šasi pred naprašovaním, aby bola tepelná vodivosť terča a šasi počas procesu naprašovania dobrá.Po naviazaní sa musí vykonať ultrazvuková kontrola, aby sa zabezpečilo, že plocha, ktorá nie je spojená s týmito dvoma, je menšia ako 2%, aby sa splnili požiadavky na vysokovýkonné naprašovanie bez toho, aby spadlo.
Čas odoslania: 19. júla 2022