Technický konzultant RSM sa s vami podelí o výhody valcových a planárnych magnetrónových naprašovacích terčov?V porovnaní s inými magnetrónovými naprašovacími terčíkmi si valcové a rovinné magnetrónové naprašovacie terče zachovávajú výhody dobrej rovnomernosti povlaku pravouhlých planárnych terčov a môžu maximalizovať využitie terčov prostredníctvom nasledujúcich dvoch spôsobov:
(1) Keď dve skupiny (štyri) prstencových jamiek na povrchu terča dosiahnu určitú hĺbku, jadro terča (časť magnetu) sa môže otočiť o 45° vzhľadom na trubicu terča, takže ostatné oblasti na trubici terča ktoré neboli skorodované, môžu byť použité;
(2) Keď je jadro terča valcového a plošného magnetrónového naprašovacieho terča konštruované ako rotačné jadro terča (jadro terča sa pri naprašovaní otáča), povrch terča možno rovnomerne odprašovať vrstvu po vrstve bez jamiek.V tomto čase bude terč využívaný najefektívnejšie a miera využitia terča môže dosiahnuť 50 % ~ 60 % Ak je cieľovým materiálom drahý kov, má to samozrejme veľký význam.
Použitím princípu magnetu s pólovou pätkou v koaxiálnom valcovom magnetrónovom rozprašovacom terči na vyriešenie problému koncového magnetického poľa je možné obdĺžnikový rovinný terč premeniť na valcový a rovinný magnetrónový naprašovací terč, terč môže maximalizovať mieru využitia terča pri zachovaní dobrej rovnomernosti povlaku obdĺžnikového rovinného terča, aby sa zlepšili ekonomické výhody.
Čas odoslania: júl-04-2022