CrAlSi Alloy naprašovací terč s vysokou čistotou tenký film Pvd povlak vyrobený na mieru

Výroba chrónovo-hliníkových kremíkových terčov na naprašovanie pozostáva z nasledujúcich krokov:
1.Vákuové tavenie kremíka, hliníka a chrónia na získanie stupňovitých zliatin.
2.Mletie a miešanie prášku.
3. Ošetrenie izostatickým lisovaním za horúca na získanie terča na naprašovanie z chrómovej zliatiny hliníka a kremíka.
Chrónium-hliníkové kremíkové naprašovacie terče sa vo veľkej miere používajú v rezných nástrojoch a formách vďaka svojej odolnosti voči opotrebovaniu a odolnosti voči oxidácii pri vysokej teplote na zlepšenie výkonu filmu.
Počas procesu PVD cieľov CrAlSi by sa vytvorila amorfná fáza Si3N4.Vďaka začleneniu amorfnej fázy Si3N4 by sa mohol obmedziť rast veľkosti zŕn a zlepšiť odolnosť voči oxidácii pri vysokej teplote.